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優(yōu)勢特點：
精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點，其操作使用方便、可任意位置安裝、并便于于計算機連接實現(xiàn)自動控制。
規(guī)格參數(shù)：
1)流量規(guī)格：（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM (0~1，2，3，5，10)SLM
2)準確度：±1.5 %F.S
3)線性：±1 %F.S
4)重復精度：±0.2 %F.S
5)響應時間：電特性：10sec 氣特性：≤4sec
6)工作壓差范圍：（0.1~0.5）MPa
7)耐壓：3MPa
8)工作環(huán)境溫度：5℃~45℃
9)輸入輸出型號：0V~+5.00V
10)電源：+15V 50mA -15V 200mA
11)重量：1.1kg
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